三星11nmFinFET工藝將于明年上半年實現量產
2020-05-19 12:01:49
388
三星電子宣布,在其晶圓代工產品組合中將增加11nm的FinFET工藝。11nm LPP或者11LPP是從上一代14nm工藝進一步發展而來,它能提供15%的性能提升,減少10%面積,但功耗卻保持不變。

三星表示,已經完成了“未來三年跨越14nm至11nm,10nm,8nm和7nm的綜合處理路線圖”。其中11nm工藝計劃于2018年上半年準備投產。
三星還證實,采用EUV(極紫外)光刻技術的7LPP的開發工作正在按期進行,目標是在2018年下半年初期生產。
自2014年以來,三星已經使用EUV光刻技術處理了近20萬張晶圓,并且根據其經驗,最近在過程開發中看到了明顯的成果,例如256Mb SRAM實現了80%的產量